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光致抗蚀剂是一类光敏高分子聚合物,受到光能照射时,分子内部发生聚合或分解反应,生成对某些溶剂可溶或不可溶的物质,微细加工中可利用这种特性来得到所需要的几何图形。本文对光致抗蚀剂用光产酸剂进行初步介绍,分析了光致抗蚀剂用光产酸剂的最新研究进展,并对今后的发展做了相关的预测与展望。
光致抗蚀剂用光产酸剂的发展趋势
【摘 要】
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光致抗蚀剂是一类光敏高分子聚合物,受到光能照射时,分子内部发生聚合或分解反应,生成对某些溶剂可溶或不可溶的物质,微细加工中可利用这种特性来得到所需要的几何图形。本文
【机 构】
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国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心化学发明审查部
【出 处】
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化工管理
【发表日期】
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2015年7期
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