【摘 要】
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日本安川电机制作所开发出了溅射NdFeB博膜,目前研究将其应用于超小型电机上。薄膜磁体厚20μm,在膜厚方向具有磁各向异性,磁能积为160kJ/m<sup>3</sup>。使用该磁体试制了直
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日本安川电机制作所开发出了溅射NdFeB博膜,目前研究将其应用于超小型电机上。薄膜磁体厚20μm,在膜厚方向具有磁各向异性,磁能积为160kJ/m<sup>3</sup>。使用该磁体试制了直径5mm的脉冲电机。靶材采用几种组成的直径为100mm的NdFeB合金,在4×10<sup>-6</sup>乇的真空中,在石英玻璃上制成NdFeB合金薄膜。实验结果表明,如果薄膜的组成和基板温度适中,在较低温度下,沿膜厚方向可C轴（易磁化轴）取向。取向最好的是组
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