论文部分内容阅读
采用磁增强反应离子刻蚀（ＭＥＲＩＥ）工艺获得了铁电ＰｂＺｒ０．５３Ｔｉ０．４７Ｏ３（ＰＺＴ）薄膜的微细图形。研究了用ＣＨＦ３气体在不同射频功率和气体流量下ＰＺＴ薄膜，Ｐｔ和ＡＺ１４５０Ｊ光刻胶的刻蚀速率以及刻蚀选择性的实验规律。原子力显微镜（ＡＦＭ）结果表明，获得的薄膜图形具有较高的各向异性，化学分析电子能谱（ＥＳＣＡ）结果表明，在ＣＨＦ３等离子体中Ｐｔ表面形成了一层碳氟聚合物薄膜，它对Ｐｔ的刻蚀