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分别以丙醇锆和正硅酸乙酯为原料，采用溶胶-凝胶工艺制备了性能稳定的SiO2和SiO2溶胶。用旋转镀膜法在K9玻璃上分别制备了单层Si02薄膜、单层SiO2薄膜、SiO2／SiO2双层膜和SiO2／ZrO2双层膜。采用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌．用椭偏仪测量薄膜的厚度与折射率，用紫外-可见光分光光度计测量了薄膜的透射率。对薄膜的透射光谱和椭偏仪模拟的数据进行分析，发现SiOz／ZrO2双层膜之间的渗透十分明显，而ZrO2／SiO2双层膜之间几乎不发生渗透。利用TFCalc模系设计软件，采用三层膜模型对