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报道了短波长化学激光系统高反射镜的膜系设计、镀膜材料的选取、反射膜制备技术、基板加工、反射镜性能测试和各种膜系反射镜在强激光辐照下的热畸变和损伤。
短波长化学激光系统反射镜研制
【摘 要】
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报道了短波长化学激光系统高反射镜的膜系设计、镀膜材料的选取、反射膜制备技术、基板加工、反射镜性能测试和各种膜系反射镜在强激光辐照下的热畸变和损伤。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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国家863激光技术领域资助
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