【摘 要】
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基于表面微加工技术,设计并制作了一种微型平面式气体火花开关,其尺寸仅为1.5cm×0.5cm,对制作的微型火花开关进行电路测试,得到其输出电流峰值约为3 450A,上升时间164ns
【机 构】
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上海交通大学微米／纳米加工技术重点实验室
【基金项目】
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微米/纳米加工技术重点实验室基金项目(9140C790302110C7906)
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基于表面微加工技术,设计并制作了一种微型平面式气体火花开关,其尺寸仅为1.5cm×0.5cm,对制作的微型火花开关进行电路测试,得到其输出电流峰值约为3 450A,上升时间164ns。结合实验结果,对开关器件进行电路系统仿真并提取参数,得到系统电感为26.5nH,电阻为0.066Ω,与传统机械结构的立体式火花开关相比,器件参数得到显著优化。
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