TiO2种子层对Bi3．15Nd0．85Ti3O12铁电薄膜的结晶取向和铁电性能的影响

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jhcjsc

【摘要】

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用sol—gel法分别制备了直接沉积在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上和加入了TiO2种子层的Bi3．15Nd0．85Ti3O12（BNT）铁电薄膜，研究了种子层对BNT薄膜结构和电学性能的影响．XRD结果表明直接沉积在Pt／T

【作者】

：

李佳于军彭刚王耘波周文利

【机构】

：

华中科技大学电子科学与技术系

【出处】

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无机材料学报

【发表日期】

：

2007年6期

【关键词】

：

sol—gel Bi3.15Ndo.85Ti3O12 铁电薄膜 TiO2种子层 sol-gel Bi3.15Nd0.85Ti3O12 ferroelectr

【基金项目】

：

国家自然科学基金重大研究计划项目（90407023）

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用sol—gel法分别制备了直接沉积在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上和加入了TiO2种子层的Bi3．15Nd0．85Ti3O12（BNT）铁电薄膜，研究了种子层对BNT薄膜结构和电学性能的影响．XRD结果表明直接沉积在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上的BNT薄膜具有（117）和（001）的混合取向，而加入TiO2种子层之后薄膜的最强峰为（200）取向；FE-SEM显示具有TiO2种子层的BNT薄膜，其表面主要是由具有非C轴取向的晶粒组成且更为致密；直接沉积的BNT薄膜和具有TiO2种子层的BNT薄膜的剩

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