【摘 要】
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高热流密度、微型化芯片的发展使传统金属材料的热扩散能力受限。本文设计加工了一款具有微针筋的均温板，应用于芯片封装壳体，实验研究了充液率、芯片尺寸、散热器运行参数（水流量、温度）对均温板壳体（VCIHS）的传热性能影响，并与同工况条件下芯片封装金属铜壳体（Cu IHS）的传热性能进行对比。结果表明：VC IHS的充液率、芯片尺寸和散热器的运行参数会影响VC IHS的传热性能，在高热流密度同工况条件下
【基金项目】
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江西省自然科学基金（20202BAB204022）； 江西省科技厅重点研发计划（20192BBEL50032）资助；
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高热流密度、微型化芯片的发展使传统金属材料的热扩散能力受限。本文设计加工了一款具有微针筋的均温板，应用于芯片封装壳体，实验研究了充液率、芯片尺寸、散热器运行参数（水流量、温度）对均温板壳体（VCIHS）的传热性能影响，并与同工况条件下芯片封装金属铜壳体（Cu IHS）的传热性能进行对比。结果表明：VC IHS的充液率、芯片尺寸和散热器的运行参数会影响VC IHS的传热性能，在高热流密度同工况条件下，VC IHS的最佳充液率为90%，热阻随着散热器运行参数（水流量、温度）和芯片尺寸的增加而降低；当热流密度为200 W/cm2时,相比于Cu IHS,VC IHS的启动时间较短，均温性更佳，热阻和结温均小于CuIHS，热阻减小20%。对于高热流密度、微型化芯片封装领域，均温板VC在高效散热、均温性方面更具应用前景，不同面积比下热阻比与热流密度的对应关系可为芯片封装VC IHS热设计提供参考。
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