热释电薄膜单片式非致冷红外焦平面阵列的研究

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：huhuairen

【摘要】

：

采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)技术,在Pt/Ti/SiO2/Si3N4/SiO2/Si基片上研制出具有优良热释电性能的BST,PLT和PZT铁电薄膜,它们是制备单片式非致冷红外焦平面阵列的优选探测材

【作者】

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刘少波李艳秋刘梅冬

【机构】

：

中国科学院电工研究所微纳加工部,华中科技大学电子科学与技术系

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2003年11期

【关键词】

：

单片式非致冷红外焦平面阵列热释电铁电薄膜 sol-gel技术刻蚀 monolithic UFPA pyroelectric /ferroelectric

【基金项目】

：

中国科学院引进国外杰出人才基金，国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)

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采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)技术,在Pt/Ti/SiO2/Si3N4/SiO2/Si基片上研制出具有优良热释电性能的BST,PLT和PZT铁电薄膜,它们是制备单片式非致冷红外焦平面阵列的优选探测材料.解决了制备热释电薄膜单片式非致冷红外焦平面阵列的关键技术,成功研制出8元、9元、10元线列和8×8元阵列,器件电压响应率(Rv)达8.6×103 V/W.

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