厚膜微带制作技术

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根据厚膜工艺的特点和微波电路的要求,采用了厚膜工艺和薄膜工艺相结合的方法,论述了制作厚膜微带电路的工艺技术途径,并对其膜层的致密性作了进一步的研究,研制的样品在11GHz下进行微波性能测试,表现出良好的特性。
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