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针对试验中引信微机电安全系统承受后坐/离心过载时,后坐/离心滑块卡头在进入基板卡座时出现较大变形导致滑块不能被基板卡座顺利闭锁的情况,提出了弹性支撑结构的 MEMS滑块闭锁机构。该结构与原结构相反,卡头上是硬倒刺,弹性支撑臂做在基板上。ANSYS有限元仿真表明,基于弹性支撑结构的闭锁机构卡头和卡臂在承受过载时闭锁机构危险截面处的应力比原有机构降低了52%,避免了塑性变形,滑块能够顺利进入卡座并被闭锁。