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用微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石薄膜,同时用双探针、发射光谱诊断了沉积过程的等离子体参数,并讨论了工艺参数和等离子体参数对膜质量的影响。
微波等离子体CVD制备金刚石薄膜
【摘 要】
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用微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石薄膜,同时用双探针、发射光谱诊断了沉积过程的等离子体参数,并讨论了工艺参数和等离子体参数对膜质量的影响。
【机 构】
：
中国科学技术大学近代物理系,材料科学与工程系,中国科学技术大学近代物理系结构分析开放实验室,合肥,230026,结构分析开放实验室,结构分析开放实验室
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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1993年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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