【摘 要】
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光波导的小型化研究对于减小光波导分立器件的体积和提高其集成度至关重要,纳米级波导光传输特性对其横截面的几何尺寸非常敏感。本文讨论和分析了高、宽都小于500nm的脊形光
【机 构】
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长春理工大学光学工程系,中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室
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光波导的小型化研究对于减小光波导分立器件的体积和提高其集成度至关重要,纳米级波导光传输特性对其横截面的几何尺寸非常敏感。本文讨论和分析了高、宽都小于500nm的脊形光波导的单模条件和偏振无关条件。研究表明,绝缘体上硅（SOI,Silicon-on-Insulator）亚微米脊形波导的模式特性与脊形微米级光波导是十分不同的,传统的有效折射率法等数值计算方法有其局限性,这里我们采用了快速准确的三维束传播（beampro pagation method,BPM）算法,得到亚微米脊形光波导满足单模和偏振无关条件的
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