近年来,我国政府为鼓励科技创新活动投入了大量研发补贴,而政府研发补贴是否有效提升了创新绩效?其具体影响机制是怎样的?企业创新能力和区域创新能力又发挥着何种作用?这些问题都亟待研究。本文以全国31个省份规模以上工业企业为研究样本,基于2008-2016年的省级面板数据,通过构建五个固定效应面板回归模型,研究了政府研发补贴对创新绩效的影响,同时,从企业创新能力和区域创新能力的视角,探讨了该影响路径上的中介效应和调节效应。结果表明,我国政府研发补贴对创新绩效有一定的促进作用;同时,企业创新能力在该影响路径上起重要的中介作用,区域创新能力对研发补贴与企业创新能力的关系起正向调节作用。本文研究结果,填补了政府研发补贴影响创新绩效的路径上,关于内部影响机制研究的空白;同时,对我国制定并完善有利于市场竞争的研发补贴政策有一定参考价值。