【摘 要】
：
微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。提出了一种采用互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容技术及自对准工艺制作的微机
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室微系统技术国家重点实验室,中国科学院研究生院,
论文部分内容阅读
微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。提出了一种采用互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容技术及自对准工艺制作的微机械热电堆红外探测器,以减小微机械热电堆红外探测器的工艺复杂度,减小微小释放孔结构的制作难度。和传统的微机械热电堆红外探测器相比,自对准微机械热电堆红外探测器的释放孔大小是由多晶硅热电偶臂之间的间距确定,而不是由光刻工艺确定。为研究自对准微机械热电堆红外探测器性能和热电堆结构之间的关系,设计并制作了两种不同结构的自对准微机械热电堆红外探测器。测试结果表明方形热电堆结构可以获得大的输出电压及响应率,圆形热电堆结构则可以获得快的响应和大的探测率。
其他文献
目的对SNP基因分型芯片在个体识别中的应用价值进行研究。方法根据SNP不同等位基因的序列设计探针,制成分型芯片。采用4个复合PCR体系,用末端标记了Cy5的引物进行复合PCR扩增
根据福柯在《知识的考掘》里的论述,每一个时代都有其独特的知识类型,在此类型的基础上,不同的学科有着同样的话语形构。本文参照波德里亚所描述的仿真社会里话语形构的变化,
<正>苏霍姆林斯基说:"培养全面发展的、和谐的个性的过程就在于教育者在关心人的每一个方面、特征的完善的同时,任何时候也不要忽略人的所有各个方面和特征的和谐,都是由某种
为研究不同偏转角下吊舱推进器敞水性能的变化规律,采用计算流体动力学(Computational Fluid Dynamics, CFD)方法模拟吊舱推进器在敞水中的运转,基于SST k ω模型进行数值研
该文设计了一个基于Web技术的电影票订票网站,该系统主要以J2EE作为开发基础,结合使用Struts2+Spring+Hibernate等多种框架,用Myeclipse作为开发工具,MYSQL作为数据库,Macrom
ZGMn13与Q235-A的焊接用A302焊条,焊接时层间用冷水急冷,可以得到光滑无裂纹的焊缝外观。
ZGMn13 and Q235-A welding with A302 electrode, the welding between the layer
<正>语文是人类最重要的交际工具,也是人类文化的重要组成部分。工具性与人文性的统一,是语文课程的基本特点。小学语文处于基础教育的起始阶段,其重要性不言而喻。良好的语
目前在智能建筑和工业控制行业中,MODBUS/TCP协议已经被广泛地应用,实现了对数据的可靠传输并已经成为了控制通讯中事实上的标准,但在实际的运行过程中,研究人员发现由于TCP
在当前全面推进依法治国的时代背景下,提升高职学生的法治教育实效性已是法治建设的迫切需要,也是培养学生法律素养和提高运用法律处理各种问题的必然选择,本文从高职法治教
目的：考察尿苷二磷酸葡萄糖醛酸转移酶（UGT）1A6和1A9基因多态性对汉族癫痫患者丙戊酸血药浓度的影响。方法：选取2014年1月—2015年4月于我院门诊就诊的汉族癫痫患者107例,均使用