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外延过程会产生多种外延缺陷,包括大亮点,划伤,橘皮,条纹,滑移、线状缺陷、雾状表面,层错等。这些缺陷通过清洗不能去除。针对雾状缺陷进行了分析,论述了雾状缺陷的危害、形成原因及解决方法。
硅外延表面雾缺陷的研究
【摘 要】
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外延过程会产生多种外延缺陷,包括大亮点,划伤,橘皮,条纹,滑移、线状缺陷、雾状表面,层错等。这些缺陷通过清洗不能去除。针对雾状缺陷进行了分析,论述了雾状缺陷的危害、形
【机 构】
：
河北普兴电子科技股份有限公司
【出 处】
：
中外企业家
【发表日期】
：
2014年4Z期
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