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硅外延表面雾缺陷的研究
通常情况下,在外延的时候经常会出现较多的外延缺陷,主要包含大亮点、滑移等.这些存在的不足之处仅仅通过清洗的方式是无法彻底清......
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硅外延表面雾缺陷的研究
外延过程会产生多种外延缺陷,包括大亮点,划伤,橘皮,条纹,滑移、线状缺陷、雾状表面,层错等。这些缺陷通过清洗不能去除。针对雾状......
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