乙烯掺杂对硅薄膜沉积速率和形貌的影响

来源 :硅酸盐通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：z362523

【摘要】

：

采用APCVD工艺用硅烷和乙烯为原料在620℃沉积硅薄膜.用AFM观察薄膜表面形貌,用SEM扫描截面测量薄膜厚度.FTIR光谱表明薄膜中存在Si-C.研究了C2H4/SiH4摩尔比对膜厚的影响,随

【作者】

：

朱建强刘涌王靖詹宝华宋晨路韩高荣

【机构】

：

浙江大学无机非金属材料研究所

【出处】

：

硅酸盐通报

【发表日期】

：

2005年6期

【关键词】

：

APCVD 硅薄膜乙烯掺杂 AFM FTIR APCVD silicon film ethylene - doping AFM FTIR

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用APCVD工艺用硅烷和乙烯为原料在620℃沉积硅薄膜.用AFM观察薄膜表面形貌,用SEM扫描截面测量薄膜厚度.FTIR光谱表明薄膜中存在Si-C.研究了C2H4/SiH4摩尔比对膜厚的影响,随着C2H4/SiH4的增大,薄膜的沉积速率降低,表明乙烯掺杂会抑制薄膜生长,同时乙烯的加入减弱了颗粒的异常长大.

其他文献

膨润土-高吸水性复合材料复合机理的初探

采用水溶液共聚法制备了膨润土-高吸水性复合材料.通过IR,DSC,TG和生物光学显微镜等测试方法对高吸水性复合材料进行了初步表征,并根据测试分析的结果初步探讨了其复合机理:

期刊

膨润土复合材料水溶液共聚法过硫酸铵引发剂高吸水树脂水凝胶bentonite super absorbent composite material

内蒙古东乌珠穆沁旗布拉格多金属矿靶区研究

对内蒙古东乌珠穆沁旗布拉格多金属矿靶区进行了研究,该区位于内蒙古东乌珠穆沁旗,属朝不楞-查干敖包铁锌铅五级成矿带(V43-3),成矿地质条件优越,是寻找铅多金属矿的有利地区

期刊

铅矿矿化体地球化学异常激电异常磁异

复发性外阴阴道假丝酵母菌病100例诊治体会

外阴阴道假丝酵母菌病（VVC）是生育期妇女最常见的下生殖道感染，占微生物感染所致阴道炎的1／4～1／3。妇女患VVC后经过治疗，临床症状和体征消失，假丝酵母菌检查阴性后又出现临床症状且假

期刊

外阴阴道假丝酵母菌病复发性诊治

影响护生学习的因素及对策

护理学是一门实践性很强的学科。护生临床实习是学校教育的深化和延续，是理论联系实际的过程，也是知识向能力转化的过程。因此，临床教学对人才培养十分重要。如何培养出高质量的

期刊

护生学习护理带教工作临床实习人才培养学校教育临床教学护理人员

243例急性有机磷中毒病人的急救及护理

通过对243例急性机磷中毒病人的急救及护理，认为应遵循切源、排毒、解毒、对症的急救原则进行急救，同时，应加强病情观察和洗胃的护理、用药护理、生命体征监护、一般护理及心理

期刊

有机磷中毒急救阿托品胆碱酯酶

护理干预对慢性重型肝炎并发症发生率的影响

[目的]探讨护理干预对慢性重型肝炎并发症发生率的影响。[方法]96例慢性重型肝炎病人随机分为两组，干预组49例，对照组47例，观察并比较两组病人并发症发生情况。[结果]干预组发生

期刊

护理干预慢性重型肝炎并发症

跨境电商网络营销之英文软文撰写研究

一、跨境电商英文软文概述以及作用　　跨境电商软文指的是在境外媒体或自媒体发布的软性广告，是推广跨境电商店铺或者自建站的外链推广的一种有效方式。在互联网自媒体如此发达的今天，软文可以说是无处不在。一篇好的软文，不仅可以为网站带来惊人的流量，高的流量转化率，还可以推广企业品牌和形象。　　二、跨境电商软文特点　　跨境电商软文的撰写要符合软文撰写的基本规则，又有其特殊之处。跨境电商软文用外语撰

期刊

跨境电商软文网络营销境外媒体软性广告

“针准”护理技术品牌的创建与效果

随着人们对健康意识的不断加强和对健康需求的不断提高，病人对护理服务、护理质量和护理技术水平的期望值也越来越高。为把握病人需求，最大限度地满足病人需要，我院注射室率先创

期刊

护理服务技术品牌护理技术水平健康需求健康意识护理质量病人需求病人需要

高职院校开展“中国梦”教育策略探析

高职院校实施“中国梦”教育是对思想政治教育理论体系和内容的延展,是中国特色社会主义建设新阶段所需,是大学生思想政治素质提升所需,也是大学生创新、奋斗实现人生理想所

期刊

高职院校“中国梦”教育策略“一得课堂”higher vocational college＂Chinese dream＂educationstrate

乙烯掺杂对硅薄膜沉积速率和形貌的影响

其他学术论文