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采用扫描电镜、3D原子探针、示差热分析等方法研究了合金元素Ru对单晶高温合金中γ '相的析出和演化过程的影响.研究结果表明:γ'的溶解温度随着Ru含量的增加而逐渐降低.铸态下以及固溶处理和时效处理后,γ'相尺寸都随着Ru含量的增加而减小.Ru的加入加快了y'相的长大和粗化速率,Ru主要分布在γ'基体中.Ru的加入使更多的Mo和Re等元素向γ'相分配,导致错配度的绝对值增大,同时加快γ'相的形筏速率.