体串联电阻对体接触SOI数字D触发器速度特性的影响

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在用体接触结构设计的SOI电路中,浮体效应被压制了,但是体串联电阻的存在仍旧在远离体接触的体区产生局部浮体效应.对于数字电路来说,浮体效应会影响他们的速度.本文采用体接触结构设计了数字D触发器,并制造了这种电路,展示了电路的性能.实际器件的输出特性表明了浮体效应的存在.SPICE模拟表明体串联电阻对体接触SOI数字D触发器速度特性有明显的影响.
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