论文部分内容阅读
采用印刷电路板工艺制作了微腔等离子体阵列，并测量了该阵列的放电特性。该器件采用标准的印刷线路板工艺制作而成，可以降低微腔等离子体器件制作的难度和提高阵列的一致性。实验结果表明，限流电阻为10kΩ情况时，直径100μm，间距150μm的微腔在一个大气压的氖气中放电电流最大值可达30mA。随着驱动电压的增加，放电电流的最大值不断升高而放电延时不断降低。