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范德堡法是测试金属薄膜电阻率的有效方法之一,由于范德堡法测试金属薄膜电阻率的过程较为繁琐,本文采用金属铟为接触电极,设计可集成样品的压力装置和测试电路,能方便、准确、无损伤地表征金属薄膜的表面电阻.根据薄膜厚度和求解范德堡方程,可以高效得到金属薄膜电阻率.
基于范德堡法测试金属薄膜电阻率的改进
【摘 要】
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范德堡法是测试金属薄膜电阻率的有效方法之一,由于范德堡法测试金属薄膜电阻率的过程较为繁琐,本文采用金属铟为接触电极,设计可集成样品的压力装置和测试电路,能方便、准确
【机 构】
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苏州科技大学天平学院; 苏州科技大学数理学院;
【出 处】
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物理教师
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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苏州科技大学天平学院教育教学改革研究重点项目(2017TGJA-01);苏州科技大学教学改革与研究项目“2017JGMZ-06”;苏州科技大学天平学院教育教学改革研究项目“2017TJGB-09”;江苏省高等教育教改研究立项课题“2017JSJG474”;江苏省十三五重点学科“20168765”和江苏省高校自然科学研究重大项目“17KJA140001”
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