【摘 要】
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采用射频磁控溅射技术在非晶TbFeCo缓冲层上制备了钴铁氧体（CoFe2O4）薄膜,并在空气中于300～1000℃退火。采用X射线衍射仪、振动样品磁强计对薄膜的微观结构和磁性能进行表征。研
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采用射频磁控溅射技术在非晶TbFeCo缓冲层上制备了钴铁氧体（CoFe2O4）薄膜,并在空气中于300～1000℃退火。采用X射线衍射仪、振动样品磁强计对薄膜的微观结构和磁性能进行表征。研究表明：样品均以单相尖晶石结构存在,在300℃退火时具有（111）择优取向;而高于300℃退火时薄膜的（111）择优取向逐渐消失;在800℃以上退火时出现（400）择优取向。所有薄膜均具有高矫顽力和高垂直各向异性,800℃退火样品垂直于膜面方向具有最大矫顽力832×103A/m,矩形度为0.73,900℃退火时
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