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基于MEMS器件的电解微细加工技术的研究
基于MEMS器件的电解微细加工技术的研究
来源 :机床与液压 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jerryymy
【摘 要】
:
基于MEMS器件的微细加工技术,提出了在微电流密度下电化学钝化机理基础上,用高频振动效应消除钝化,用与高频振动同频同步的窄脉冲电流电解作用去除机体材料,实现电解复合微细加工
【作 者】
:
王军
【机 构】
:
广东轻工职业技术学院机电工程系
【出 处】
:
机床与液压
【发表日期】
:
2008年11期
【关键词】
:
MEMS器件
高频振动
窄脉冲电流
电解复合微细加工
MEMS device
High-frequency vibration
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基于MEMS器件的微细加工技术,提出了在微电流密度下电化学钝化机理基础上,用高频振动效应消除钝化,用与高频振动同频同步的窄脉冲电流电解作用去除机体材料,实现电解复合微细加工,这是微细加工技术的新构想及发展趋势。
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