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分析了表面结构的形成过程及其分类 ,介绍了目前在 3D微观形貌测量过程中广泛使用的触针法、扫描探针显微镜和几种光学方法的基本原理、测量范围、分辨力等特性。最后指出了 3D分析技术的现状和将来的发展趋势。
三维表面微观形貌的测量方法
【摘 要】
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分析了表面结构的形成过程及其分类 ,介绍了目前在 3D微观形貌测量过程中广泛使用的触针法、扫描探针显微镜和几种光学方法的基本原理、测量范围、分辨力等特性。最后指出了
【机 构】
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北京航空航天大学自动化学院
【出 处】
：
宇航计测技术
【发表日期】
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2000年04期
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