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金刚石膜和氢化非晶碳膜电阻率测量的对比研究
金刚石膜和氢化非晶碳膜电阻率测量的对比研究
来源 :首都师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangyofoo
【摘 要】
:
对金刚石膜和氢化非晶碳膜的电阻率测试方法进行了对比研究.即对金刚石膜采用“大“尺度电极,氢化非晶碳膜采用“大“尺度电极和小尺度电极测量I-V曲线进行对比分析和讨论,得
【作 者】
:
胡颖
徐力
高著秀
【机 构】
:
首都师范大学物理系
【出 处】
:
首都师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
金刚石膜
氢化非晶碳膜
电极测量
电阻率
金属-半导体-金属结构
电学性能
I-V特性曲线
Diamond film a-C:H film
Electrode
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对金刚石膜和氢化非晶碳膜的电阻率测试方法进行了对比研究.即对金刚石膜采用“大“尺度电极,氢化非晶碳膜采用“大“尺度电极和小尺度电极测量I-V曲线进行对比分析和讨论,得出了有意义的结果.
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