金刚石膜和氢化非晶碳膜电阻率测量的对比研究

来源 :首都师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangyofoo
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对金刚石膜和氢化非晶碳膜的电阻率测试方法进行了对比研究.即对金刚石膜采用“大“尺度电极,氢化非晶碳膜采用“大“尺度电极和小尺度电极测量I-V曲线进行对比分析和讨论,得出了有意义的结果.
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