论文部分内容阅读
射频微机械开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景.但是目前的微机械开关都是制作在硅基衬底上的,难于与后面的高频砷化镓处理电路相集成.本文介绍了基于砷化镓衬底的RF MEMS膜开关,着重介绍了开关的工作原理、制作过程和测试结果.
基于砷化镓衬底的RF MEMS膜开关
【摘 要】
：
射频微机械开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景.但是目前的微机械开关都是制作在硅基衬底上的,难于与后面的高频砷化镓处理电路相集成.本文
【机 构】
：
MEMS教育部重点实验室,南京电子器件研究所
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
：
2003年7期
其他文献