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目的构建4级纳米颗粒钛膜实验模型，并评价其表面微观形貌特征。方法采用直流磁控溅射法通过温度控制制备不同大小的纳米颗粒钛膜，采用X射线衍射测试其表面晶粒大小，采用原子力显微镜观察4个温度组（常温、100、250、380℃）Si、Ti基底及未镀膜对照组的表面微观形貌，统计并比较各组颗粒大小，测定各组表面粗糙度大小。结果各组样品表面均形成由密集的圆形或卵圆形颗粒组成的致密薄膜，随温度升高，颗粒大小和晶粒大小均逐渐增大。相对于平整的Si基底，Ti基底的本底形貌对表面膜有较大影响，形成一种复合结构，使Ti基底组的表