【摘 要】
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文章提出了一种基于MEMS技术的新型W波段滤波器。该滤波器采用MEMS硅微加工技术,在硅基上刻蚀形成四个水平互连的谐振腔。谐振腔之间引入直接耦合和交叉耦合,减小带内插损、
【机 构】
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电子科技大学极高频复杂系统国防重点学科实验室,
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文章提出了一种基于MEMS技术的新型W波段滤波器。该滤波器采用MEMS硅微加工技术,在硅基上刻蚀形成四个水平互连的谐振腔。谐振腔之间引入直接耦合和交叉耦合,减小带内插损、提高带外抑制。此外,输入、输出采用共面波导结构,能更方便的同其他器件相连。采用HFSS仿真软件设计滤波器,仿真结果达到了预期的要求。
The article presents a new type of W-band filter based on MEMS technology. The filter uses MEMS silicon micromachining technology to etch on a silicon substrate to form four horizontally interconnected resonators. The introduction of direct coupling between the resonant cavity and cross-coupling, reducing the band insertion loss, improve the band rejection. In addition, the input and output coplanar waveguide structure, can be more easily connected with other devices. Using HFSS simulation software to design the filter, the simulation results meet the expected requirements.
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