【摘 要】
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Intellevation公司是一家在干腐蚀和镀膜工艺监控方面有23年经验的专业性公司,该公司能设计并生产干腐蚀和高性能膜层监控系统。干腐蚀监控在开发激光端点探测器过程中,Intel
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Intellevation公司是一家在干腐蚀和镀膜工艺监控方面有23年经验的专业性公司,该公司能设计并生产干腐蚀和高性能膜层监控系统。干腐蚀监控在开发激光端点探测器过程中,Intellevation公司重点开发了独特的表面识别算法。通过将这一算法运用到端点探测器中,该系统在蚀刻开始前即
Intellevation, a 23-year professional company specializing in dry etching and coating process monitoring, designs and manufactures dry etching and high performance film monitoring systems. Dry Corrosion Monitoring Intellevation has developed a unique surface recognition algorithm for the development of laser endpoint detectors. By applying this algorithm to the endpoint detector, the system is just before etching begins
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