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采用工控机加PLC控制器结构,设计基于EtherCAT现场总线的PECVD软件系统和整机控制系统,具有工控机主要负责人机界面、数据记录和工厂自动化等功能,PLC控制器负责设备的控制操作,包括温度控制、运动控制和工艺控制等功能。
基于EtherCAT现场总线的PECVD控制系统设计
【摘 要】
：
采用工控机加PLC控制器结构,设计基于EtherCAT现场总线的PECVD软件系统和整机控制系统,具有工控机主要负责人机界面、数据记录和工厂自动化等功能,PLC控制器负责设备的控制操
【机 构】
：
湖南红太阳光电科技有限公司
【出 处】
：
装备制造技术
【发表日期】
：
2020年7期
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期刊
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