声表面波气体传感器研究进展

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【摘要】

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从机理模型构建、物理功能结构优化两方面出发对覆盖聚合物敏感膜的高性能声表面波(SAW)气体传感器技术进行了研究和探讨.实验研制了一种以具有高频率稳定性的声表面波延迟线

【作者】

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何世堂王文谢晓刘明华李顺洲潘勇

【机构】

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中国科学院声学研究所,防化研究院

【出处】

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真空电子技术

【发表日期】

：

2013年2期

【关键词】

：

声表面波化学传感器响应机理振荡器检测下限 SAW chemical sensor Response mechanism Oscillator Thresh

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从机理模型构建、物理功能结构优化两方面出发对覆盖聚合物敏感膜的高性能声表面波(SAW)气体传感器技术进行了研究和探讨.实验研制了一种以具有高频率稳定性的声表面波延迟线型振荡器为传感元,结合六氟异丙醇基聚硅氧烷敏感膜的SAW传感器,开展了针对DMMP的检测实验,检测下限与检测灵敏度分别达到了0.04 mg/m3和485 Hz/mg/m3.

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