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元器件企业都存在订货量小、批次多的情况,在保证订货任务完成的情况下,如何能向用户提交这些元器件生产过程的质量波动数据,是需要解决的问题。该文主要基于嵌套回归的数学统计原理,以混合集成电路印刷工艺为例,对膜厚参数进行嵌套回归的统一化处理,结果表明应用嵌套回归数学方法处理后生成的控制图能比应用传统控制图更能真实地反映工艺受控情况。