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新型的二齿双氮基脒金属前驱体bis—amidinate在原子层气相沉积（ALD）中表现出了广阔的应用前景．前驱体适用性取决于其是否具备适当的稳定性，而bis—amidinate型前驱体的稳定性可由侧链取代基上β基团的迁移重排来表征．利用密度泛函理论方法研究了配体氮原子上不同取代基对bis—amidinate型Co前驱体稳定性的影响．结果表明，β-H的迁移较β-Me的迁移相对容易，而β基团在不同取代基前驱体中的迁移能力次序为：异丙基（β-H）〉2-丁基（β〉叔丁基（β-CH3）．