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高的表面粗糙和厚度的不均匀性影响了ＣＶＤ金而石膜的应用，而抛光可以减少这些缺点，近年来，发展了近多ＣＶＤ金刚石膜的抛光技术，崦且不同的抛光技术都有其优缺点，本文总结了ＣＶＤ金刚石膜的各种抛光技术及其特点，并提高出了一种新的抛光技术。
ＣＶＤ金刚石膜的抛光技术
【摘 要】
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高的表面粗糙和厚度的不均匀性影响了ＣＶＤ金而石膜的应用，而抛光可以减少这些缺点，近年来，发展了近多ＣＶＤ金刚石膜的抛光技术，崦且不同的抛光技术都有其优缺点，本文总结了ＣＶＤ金刚石膜的各种抛
【机 构】
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北京科技大学
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2001年1期
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