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本文综述了纳米时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI,并结合介绍了上海微系统所和上海新傲科技有限公司相关的研究工作.
纳米技术时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI
【摘 要】
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本文综述了纳米时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI,并结合介绍了上海微系统所和上海新傲科技有限公司相关的研究工作.
【机 构】
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中科院上海微系统与信息技术研究所,上海新傲科技有限公司
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2007年4期
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