功率晶体管芯片的电泳法玻璃钝化研究

来源 :哈尔滨工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jiaosai

【摘要】

：

本文介绍了电泳法淀积7801—5锌系玻璃粉钝化功率晶体管芯,并对电泳法原理、影响因素、玻璃粉烧结工艺进行了探讨;对钝化前后的器件做了测试;管芯反向漏电流得到改善,钝化后

【作者】

：

林逸青刘园丁

【机构】

：

哈尔滨工业大学半导体物理与器件教研室,哈尔滨工业大学半导体物理与器件教研室

【出处】

：

哈尔滨工业大学学报

【发表日期】

：

1989年5期

【关键词】

：

功率晶体管芯片电泳玻璃纯化 Electrophoresispassivationsintering transistor.

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本文介绍了电泳法淀积7801—5锌系玻璃粉钝化功率晶体管芯,并对电泳法原理、影响因素、玻璃粉烧结工艺进行了探讨;对钝化前后的器件做了测试;管芯反向漏电流得到改善,钝化后管芯分别在250℃和175℃温度下进行高温贮存试验取得满意结果.说明电泳法淀积7801—5锌系玻璃粉钝化工艺可提高半导体器件的稳定性和可靠性.

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