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分析了低压磷扩散较常压扩散的优势，论述了低压磷扩散的工作原理及可以调节的工艺参数。通过研究真空条件下源流量、扩散时间、源瓶压力、真空泵压力等扩散工艺参数对扩散方块电阻的影响，了解低压磷扩散工艺的调试思路、途径及方法，便于更高效开展低压磷扩散工艺的调试。
低压磷扩散工艺研究
【摘 要】
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分析了低压磷扩散较常压扩散的优势，论述了低压磷扩散的工作原理及可以调节的工艺参数。通过研究真空条件下源流量、扩散时间、源瓶压力、真空泵压力等扩散工艺参数对扩散方块
【机 构】
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晶澳太阳能有限公司,北京七星华创电子股份有限公司
【出 处】
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太阳能
【发表日期】
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2016年9期
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