氩离子刻蚀对TFA-MOD法YBa2Cu3O7-x薄膜性能的影响研究

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liangtuming

【摘要】

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TFA-MOD工艺制备的YBa2Cu3O7-x(YBCO)薄膜有独特的生长机制,高温晶化后的YBCO薄膜表面存在一层由Ba-Cu-O异质相及a轴生长的YBCO晶粒组成的杂质层。为了满足零电阻超导焊接和

【作者】

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罗志永廖楚剑蔡传兵刘志勇李敏娟鲁玉明

【机构】

：

上海大学理学院

【出处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

2019年12期

【关键词】

：

YBCO薄膜杂质刻蚀超导性能 YBCO film impurity etching superconducting property

【基金项目】

：

国家重点研发计划(2016YFF0101701),上海市科学技术委员会(16521108400,16DZ0504300,14521102800),国家自然科学基金(51572165,11174193)

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TFA-MOD工艺制备的YBa2Cu3O7-x(YBCO)薄膜有独特的生长机制,高温晶化后的YBCO薄膜表面存在一层由Ba-Cu-O异质相及a轴生长的YBCO晶粒组成的杂质层。为了满足零电阻超导焊接和超导带材钎焊搭接的研究需要,在不破坏超导特性和晶体结构的前提下,采用Ar离子对TFA-MOD工艺制备的YBCO薄膜进行刻蚀,对薄膜进行纳米级的减薄,实现对薄膜表面杂质的去除。利用拉曼光谱、扫描电子显微镜和X射线衍射等方法对不同刻蚀时间下的薄膜状态进行表征。结果表明,1.3μm厚的YBCO薄膜表面杂质层厚度约为

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