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磁控共溅射法制备Cr:ZnO薄膜的磁性研究
磁控共溅射法制备Cr:ZnO薄膜的磁性研究
来源 :天津理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sadsorry11
【摘 要】
:
本文采用磁控共溅射法在玻璃衬底上制备了Cr:ZnO薄膜,利用XRD、XPS、PPMS测试手段对制备的样品进行表征,结果表明:Cr以Cr3+离子形式掺入ZnO晶格,没有发现第二相.所有样品均呈现
【作 者】
:
李伟
朱珊珊
陈希明
【机 构】
:
天津理工大学电子信息工程学院
【出 处】
:
天津理工大学学报
【发表日期】
:
2010年6期
【关键词】
:
共溅射
铁磁性
Cr:ZnO薄膜
co-sputtering
ferromagnetism
Cr:ZnO film
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本文采用磁控共溅射法在玻璃衬底上制备了Cr:ZnO薄膜,利用XRD、XPS、PPMS测试手段对制备的样品进行表征,结果表明:Cr以Cr3+离子形式掺入ZnO晶格,没有发现第二相.所有样品均呈现室温铁磁性,且具有磁各向异性,表明铁磁性是其内在固有的.
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