【摘 要】
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研究了氧沉淀对直拉（CZ）硅单晶维氏硬度的影响。研究表明，在发生一定程度氧沉淀的情况下，硅单晶的硬度会由于氧沉淀导致的间隙氧浓度的降低而减小，此时间隙氧原子的固溶强化作用对
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研究了氧沉淀对直拉（CZ）硅单晶维氏硬度的影响。研究表明，在发生一定程度氧沉淀的情况下，硅单晶的硬度会由于氧沉淀导致的间隙氧浓度的降低而减小，此时间隙氧原子的固溶强化作用对硅单晶硬度具有显著的影响；而当氧沉淀足够显著时，由于氧沉淀的密度和尺寸较大，氧沉淀在硅单晶中的第二相强化作用得以显现，此时硅单晶的硬度不随间隙氧浓度的降低而减小，反而有较为显著的提高。
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