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用Ｘ射线衍射仪研究了ＭＯＣＶＤ法制备的ＺｎＳ：Ｍｎ薄膜的结晶特性，用二次离子质谱仪分析了锰在立方晶相硫化锌中的分布，解释了薄膜两侧原子堆积层的成因，测量了ＺｎＳ：Ｍｎ电致发光薄膜的光学特性。
MOCVD法ZnS：Mn电致发光薄膜的结晶与光学特性
【摘 要】
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用Ｘ射线衍射仪研究了ＭＯＣＶＤ法制备的ＺｎＳ：Ｍｎ薄膜的结晶特性，用二次离子质谱仪分析了锰在立方晶相硫化锌中的分布，解释了薄膜两侧原子堆积层的成因，测量了ＺｎＳ：Ｍｎ电致发光薄膜的光学特性。
【机 构】
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中国科学院长春物理研究所
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1996年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金,中国科学院激发态物理开放实验室基金
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