【摘 要】
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Ⅱ-Ⅵ族半导体化合物碲化镉（CdTe）因其具有良好的光电性质，而成为制备高效率、低成本的多晶薄膜太阳电池理想的吸收层材料。广泛的应用其制备是前提，CdTe薄膜的制备方法较多。主
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Ⅱ-Ⅵ族半导体化合物碲化镉（CdTe）因其具有良好的光电性质，而成为制备高效率、低成本的多晶薄膜太阳电池理想的吸收层材料。广泛的应用其制备是前提，CdTe薄膜的制备方法较多。主要有：CSS（closed-space sublimation，近距离升华）；电沉积（ED）法；溅射法；喷涂法和真空蒸发法等。采用不同的制备技术对CdTe薄膜样品的结构与性质有较大差异，本文研究了CdTe薄膜的结构特性，比较制备工艺较成熟且效率较高的常用方法的优缺点，并系统讨论了CdTe薄膜的掺杂改性研究。
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