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给出了ＭＯＣＶＤ反应室流体力学的模拟方法，介绍一个ＭＯＣＶＤ反应室设计软件。该软件通过模拟反应室内的气流分布，压力分布和温度分布情况，可用来检验现有反应室结构的合理性及设计新型反应室结构。作为分析实例，对入口区扩散气流对整个反应室气流分布的影响作了简单讨论。
MOCVD反应室的计算机辅助设计
【摘 要】
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给出了ＭＯＣＶＤ反应室流体力学的模拟方法，介绍一个ＭＯＣＶＤ反应室设计软件。该软件通过模拟反应室内的气流分布，压力分布和温度分布情况，可用来检验现有反应室结构的合理性及设计新型反应室结构
【机 构】
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吉林大学电子工程系
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1999年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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