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本文介绍高频光电导衰减法硅单晶少子寿命测试技术的改进。利用红外发光二极管作为闪光源,获得了合适的光强和0.5～1微秒的短余辉。电路的改进增加了仪器的灵敏度,因此可较方便地测量低电阻率低寿命的样品。满足了集成电路级硅单晶的测试要求。
红外光源硅单晶少子寿命测试仪
【摘 要】
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本文介绍高频光电导衰减法硅单晶少子寿命测试技术的改进。利用红外发光二极管作为闪光源,获得了合适的光强和0.5～1微秒的短余辉。电路的改进增加了仪器的灵敏度,因此可较方便
【出 处】
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浙江大学学报
【发表日期】
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1982年03期
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