【摘 要】
：
研究MEMS电容式加速度传感器的自我标定方法,模拟机械振动台标定,提高标定效率和降低标定成本,并从理论上分析了DRIE工艺误差对传感器自我标定精度的影响。分析的传感器模型
【机 构】
：
杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室
论文部分内容阅读
研究MEMS电容式加速度传感器的自我标定方法,模拟机械振动台标定,提高标定效率和降低标定成本,并从理论上分析了DRIE工艺误差对传感器自我标定精度的影响。分析的传感器模型梳齿间距为4μm,厚度80μm,传感器自我标定以模拟幅值为1 g的振动台标定为例,针对DRIE工艺加工的高深宽比梳齿电容存在正负侧壁倾斜角α的情况,分析了该倾斜角对梳齿式传感器自我标定的影响。分析结果表明：传感器工作在开环电路时,梳齿的倾斜对传感器自我标定影响明显,且随着倾斜角度的增大而增大。与梳齿完全平行时传感器的自我标定相比,倾斜角为
其他文献
教师的成长就成了支撑整个教育发展的重点,构建一支专业理论知识扎实、实践技能强、具备良好职业道德和综合素养的师资队伍,从而就提升整个社会的发展和人才的进步.这次借我
IPTV作为同时具有广电和电信双重业务属性的融合性业务．势必会成为三网融合进程中的焦点．而针对IPTV的博弈正是相关部门的利益诉求。日前，随着北京在内的试点城市三网融合方案已
本文设计的电梯控制系统提高了电梯的控制水平和电梯故障检测与维修的简易性,同时还克服了手动操作所带来的一些人为干扰因素,取得了良好的预期效果.由于交流双速电梯成本较
2008年10月，维信诺公司依托清华大学研究的技术在昆山建立了中国大陆第一条PMOLED大规模生产线，使我国OLED产业初具规模。十多年来，维信诺始终坚持自主创新，走从技术开发到产业化
针对硅微陀螺仪中正交误差的来源进行了分析,设计了一种基于正交校正电极的闭环控制回路。该电路通过正交校正电极产生静电耦合刚度,以此来抵消结构耦合刚度,从而抑制正交误
人物形象设计在国内很多领域中都有非常广泛的应用,区块链技术作为科技时代的新兴技术,在人物形象设计行业内潜移默化地发挥关键作用。区块链技术中的比特币、区块、密钥、共
针对无线传感器网络存在的严重的能量约束问题，提出一种能量高效的非均匀分簇路由协议（ EUCP ），采用限制簇规模的优化簇形成算法产生规模依次递减的簇和改进的多跳簇间转发方式，节
一、前言近年来，国内安防市场每年保持了两位数的高速增长。不过，大部分企业都把精力放在网络视频上面，却很少企业注意到一个细分的市场——GSM图片彩信监控市场。由于彩信监控