【摘 要】
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提出了一种新型的迈克尔逊干涉型混合集成光学加速度地震检波器.以尺寸为38 mm×6 mm×2 mm的X切Y传LiNbO3晶体为基底,详细分析并设计了迈克尔逊干涉芯片的双Y分支波
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提出了一种新型的迈克尔逊干涉型混合集成光学加速度地震检波器.以尺寸为38 mm×6 mm×2 mm的X切Y传LiNbO3晶体为基底,详细分析并设计了迈克尔逊干涉芯片的双Y分支波导、相位调制器和偏振器.对成功制作的迈克尔逊干涉芯片进行了通光测试,并对检测器进行了测试.结果表明,检波器及芯片性能良好,振动与检波器输出信号吻合良好.该检波器系统的主要设计参数为:自然频率3 549 Hz,相位检测灵敏度ΔΦ/a为1.1×10-2 rad/m/s2,工作频带0～1 065 Hz.
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