SiO2和PSG膜的湿法化学腐蚀及玻璃纯化IC中的腐蚀诱生缺陷

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:k55551309787
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文第一部份综述有关文献并评价各类二氧化硅和磷硅玻璃湿法化学腐蚀的化学原理、腐蚀机理和腐蚀工艺;第二部分讨论因腐蚀而引起的诱生缺陷。业已证实,玻璃膜复盖层经湿法化学腐蚀之后在集成电路芯片上零散出现的结晶形结构物与氟化铵晶体是一样的。当芯片侵入缓冲氢氟酸腐蚀剂过饱和溶液中时,在玻璃膜或氧化物表面上很快就形成氯化物结晶体。于是,在残余介质腐蚀的过程中,它们就作为一种掩蔽物而引起明显的仿形结晶结构。如果这些缺陷密度高,由于出砚表面问题和/或引线联结问题而可能需要返工或者报废整批器件芯片。设法防止腐蚀剂变冷或者变得太浓,或者使用低浓度腐蚀剂成分,均可避免溶液的过饱和问题。 The first part of this article reviews the literature and evaluates the chemical principles, corrosion mechanisms and corrosion processes of wet chemical etching of various types of silica and phosphosilicate glass. The second part discusses the induced defects caused by corrosion. It has been confirmed that the crystalline structure of the glass film coating scattered on the integrated circuit chip after wet chemical etching is the same as the ammonium fluoride crystal. When the chip invades a supersaturated solution of buffered hydrofluoric acid etchant, chloride crystals rapidly form on the glass film or oxide surface. Thus, during the etching of the residual medium, they act as a mask causing a noticeable conformational crystal structure. If these defect densities are high, the entire batch of device chips may need to be reworked or scrapped due to inkjet surface problems and / or lead bonding issues. Trying to prevent the etchant from getting too cold or getting too strong, or using low concentrations of etchant ingredients, avoids the problem of supersaturation of the solution.
其他文献
2010年上半年我国保健品进出口总额为1.6亿美元,同比增长24%。其中保健品出口占中药出口总额的9%,出口额7651万美元,同比增长42%;进口额8369万美元,同比增长了11%。2007年我国保健品贸
本刊从本期开始开辟“地方专栏”栏目。它是以省、市、自治区为单位组织稿件的。目的是交流各地方生物教学改革的信息,推动生物教学改革的深化。“地方专栏”稿件要求字数约1
本文对市政工程内部控制现状进行了分析,提出其中存在的问题,并结合笔者多年工程实践经验,针对如何解决这些问题,提高市政工程内控水平的对策进行探讨与研究,希望能够从理论
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
文章运用文献资料、逻辑分析等研究方法探析了习近平学校体育思想的内涵:身心健康是学校体育的首要任务、学校体育与家庭和社会体育有机结合、提高学校竞技体育水平、学校体
适逢“全球传统医药日”,由九龙总商会和世界大城市医药首脑协会联合主办的“第二届中医药全球大会及采购年会”,近日在香港举办,来自海内外各国的中医药界相关政府官员、社团领
桩基施工技术是如今建筑工程中最为基础的一种技术,在社会经济的发展中,建筑桩基施工技术有很大程度上的提高,从而确 保建设工程的现代化、标准化以及自动化等,比如在选择桩
教育是为了解决问题,解决问题才是最好的教育。近年来,我省抓作风、抓党建,之所以受到群众点赞,就是因为坚持从问题出发,解决了一大批群众反映强烈的突出问题。省委书记、省
报纸
绿茶能抗癌这一民间说法,终于被基因研究证实了。由复旦大学遗传工程国家重点实验室与美国约翰霍普金斯大学医学院合作完成的“羰基还原酶1作为表没食子儿茶素没食子酸酯对抗