澳大利亚研制纳米电子束曝光系统是制作微小纳米电了元件的最佳设备

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据澳大利亚莫纳什大学网站报道,澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统(EBL)。该系统可标记纳米级的物体,还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。电子束曝光技术可直接刻画精细的图案,是实验室制作微小纳米电子元件的最佳选择。这款 According to the website of Monash University in Australia, Australian researchers are developing one of the most powerful nanodevices in the world, the Electron Beam Exposure System (EBL). The system marks nanoscale objects and can be written or etched on particles 10,000 times smaller than human hair. Electron beam exposure technology can directly describe the fine pattern, is the best laboratory for making tiny nano-electronic components. This
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