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介绍了一种以超纯水为电解液的电解加工工艺方法,即超纯水电解加工技术。研究了阳离子交换膜在超纯水中的水解离机理及工作特性,分析其在超纯水电解加工过程中的作用机理,并进行了水解离试验研究。结果表明:电流密度达到了3.7 A/cm2,电场?度约为2 MV/m,已进入微细电解加工去除材料要求范围,为超纯水微细电解加工的应用奠定了基础。